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上证报中国证券网讯据必联网发布的中标结果公告显示，3月7日，万业企业旗下嘉芯迦能的掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备(SACVD)以及钛/氮化钛沉积设备(MOCVD)中标特色工艺生产线建设招标项目。

另据资料显示，自2022下半年开始，万业企业旗下嘉芯半导体多次中标多款设备，包含快速热处理(RTP)、氮化硅等离子刻蚀机、金属等离子刻蚀机、侧墙等离子刻蚀机、高密度等离子薄膜沉积设备(HDP-CVD)、二氧化硅等离子薄膜沉积设备(PECVD)、铝铜金属溅射设备(PVD)、掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备(SACVD)以及钛/氮化钛沉积设备(MOCVD)等。(赵平)

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